Фотолітографія: як створюють мікрочипи на найскладнішій машині

Надбання 21 століття у сфері глибокої (DUV) та екстремальної ультрафіолетової (EUV) фотолітографії, а також розробка відповідного спеціалізованого обладнання, можна без перебільшення назвати революційними. Цей прогрес можна порівняти з впливом, який справив винахід Йоганна Ґутенберґа у середині 15 століття. Сучасна електроніка,…








